晶圆搬运用机器人(SR8241)| 尼得科/NIDEC
尼得科提供的晶圆搬运用机器人(SR8241),通过高操控性的伺服电机和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。大搬送范围的设计独立的双驱动系统实现2片同时取放・紧凑的构造、很小的占有面积应对10mm的片间距和晶圆合同片间距的2片同取放・低取片高度具有多功能和可回旋的手臂3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列。
https://www.nidec-group.cn/product/detail/440?uri=use&selected=199%2C423%2C473