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新规开发/定制品
晶圆搬运用机器人（SR8230）
圆柱坐标 单臂
通过高操控性的伺服电机和控制软件，在高级别的无尘环境下，实现低振动以及平稳快速搬送。
- 特点
- 占有空间小，运行速度快，搬送效率高。
产品参数
基本信息
| 手臂 | 双手臂单刀片型 |
|---|---|
| 自由度(附带绝对编码器) | 5-AXES |
| 可动范围「R轴」(㎜) | (第1,2轴手臂)534 |
| 可动范围「Ｚ轴」(㎜) | 300/600 |
| 可动范围「θ轴」(deg) | 340 |
| 最大速度「R轴」(rad/sec) | (第1,2轴手臂)5.76 |
| 最大速度「Ｚ轴」(㎜/sec) | 450 |
| 最大速度「θ轴」(rad/sec) | 6.98 |
| 往复精度(㎜) | +/-0.1 |
| 洁净度 | ISO Class 2 |
| 产品搬运公司 | 尼得科仪器 |
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主要用途
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